在信息社会中，为了促进社会生产力的发展，人们必须使用传感器来检测很多非电信息，例如压力，流量等。气压计等简单的指示测量到航空等特殊条件和环境下的高可靠性和高精度压力监控，其关键部件的压力传感器都发挥着重要作用。
定性。感器技术是当代信息社会的重要技术基础。代计算机系统的功能和质量直接取决于传感器的数量和质量。子技术和大规模集成电路技术等新技术的开发为新一代传感器的开发提供了条件。力传感器是当今非常普遍的用于测量和控制仪器的组件。着微电子技术的发展，硅压力传感器可用于医疗，工业监控，航空航天等各个领域。
[1]。多国立大学已经开发了如图1-1所示的压力传感器的结构，下图是一个高温压力传感器，基板是单晶硅晶片，在其上形成一层SiO2，然后通过LPCVD沉积未掺杂层。后通过注入硼离子对多晶硅膜进行掺杂，然后进行干法蚀刻以形成4个多晶硅电阻器。境温度输出灵敏度为8.39 mV / kPa；在0至6MPa的压力范围内，输出非线性小于1.38％，滞后性优于0.098％；在400℃的环境温度范围内，电阻温度系数为0.089％/℃，灵敏度温度系数为-0.12％/℃。门大学开发的MOS压力传感器如图1-2所示。个芯片的尺寸为600μm×1050μm，栅极隔膜的尺寸为200μm×200μm，其成品尺寸约为10 mm×5 mm×3 mm。
极与氧化物层之间有空隙（约0.5μm）。
对隔膜施加压力时，隔膜会变形并导致栅格容量的变化[2]。10月，由河北工业大学和天津大学联合开发的压力传感器的结构如图1-3所示。感器范围为0〜1.0 MPa，最高工作温度为220℃，灵敏度为200〜240 mV /（V·MPa）。2014年9月，图1-4显示了由德国柏林工业大学开发的具有SOI结构的压阻式压力传感器。态谐振频率为50 Hz，灵敏度为3 V /（V·Pa），测量范围为±1 kPa。
2015年11月，挪威奥斯陆大学开发了一种可治疗脑积水的压阻式压力传感器。寸可以达到700μm×700μm，设备的厚度为670μm，恒温阀芯但是真正起作用的部分只是上表面的5μm薄层，如图1所示。5 [3]。感器可以通过外科手术植入导管中，连接大脑和电子模块的导管可以通过植入导管壁中来实现，而电子模块则可以植入皮肤中，可以由设备驱动和记录图1-6以无线方式在体外显示了传感器的工作原理。1月，瑞士联邦技术学院开发了一种以聚酰亚胺为牺牲层的浮栅压力传感器。
传感器使用漏极电流来完成压力监测，从而提高了灵敏度，其电流幅度是先前电容器电流的幅度的103倍[4]。
力传感器越来越多地与传感器集成在一起以用于其他测量目的，以形成测量和控制系统。
种小型传感器可以在极其恶劣的环境中运行，几乎不需要维护和保养，对周围环境的影响很小，可以放置在人体的各个重要器官中以收集数据而不会影响正常生活这个人的。力传感器已从纯机械工业扩展到其他领域。
如：汽车电子系统，医疗仪器和能源环境控制系统等。
于集成的出现，可以在集成电路的制造中增加某些微处理器，从而使传感器具有自动补偿，通信，自诊断和逻辑判断等功能。感器的设计和制造已经形成了某些行业标准。ISO国际质量体系，美国AN-SI标准，ASTM标准和日本JIS标准[5]。
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