在对风速传感器的结构和机理进行分析的基础上，对小型风速传感器进行了设计，结构研究，制造，测试，并对实验结果进行了分析。感器芯片基于托马斯流量计的原理，并使用硅微加工技术制造。敏感元件转变为悬浮微结构，并在悬浮桥上布置了耐热性和耐热性，从而降低了能量消耗并提高了传感器的灵敏度，从而获得了低风速和风场的测量。
文重点介绍了微型风速传感器的基本结构，恒温差控制电路和非线性补偿技术。以通过交换速度和速度来测量风场。体在气象，环境保护，航空航天，航空乃至日常生活等各个领域都是不可分割的[1-2]。多种类型的测量流体的方法。于气体测量，测量条件基本相同。文档提供了一种小型风速传感器，该传感器用于检测低风速。于风速低，对传感器的灵敏度有一定要求。感器的灵敏度与元件的热容量，加热功率和响应时间密切相关。设计传感器时，有必要减少散热，减少设备的热传导，降低设备的热容量并降低发热量。此，将传感器设计为悬架桥结构，并且在桥上实现检测电阻和加热电阻。
过测量气体通过管道中部的加热元件时的冷却效果来测量气体流速。测量部分放置了三个热敏电阻元件。热电阻器放置在管道的中间。度测量电阻器放置在加热电阻的两端，以测量温度变化加热电阻。热电阻器通过修改电流以形成相对平衡的温度场，在其温度和被测气体温度之间保持恒定的温差。气体通过时，平衡的温度场被破坏。却效果越大，耐热性越高。定电流越高。时恒温下的电流与所测介质的流量成正比。
（1）温敏电阻； （2）耐热性； （3）温度敏感电阻。图1所示。速传感器的中心结构如图2所示。个电阻器布置在吊桥上。先，放置一个加热电阻，然后在加热电阻的两端放置两个温度测量电阻。量温度变化。于传感器在室温下运行，因此风速变化会影响传感器的灵敏度。了减少外部环境对传感器灵敏度的影响，使用了两个测温电阻来检测环境温度。用加热电阻器和两个温度测量电阻器来形成电桥，从而使电桥构成恒温控制电路。环境温度和加热电阻加热温度保持在160°C恒定。温度变化时，恒温阀芯加热温度也会相应地变化，从而确保传感器的输出灵敏度不受以下变化的影响温度。感器采用恒定温差法，因此外部温度始终比加热电阻高出外部温度160°C，如图3所示。热电阻Rh，测量电阻外部温度Rc，控制电流R2。感器运行时，Rh阻抗低，Rh上的温度低。Rh加热时，电流流过Rh。加热电阻的温度比外界温度高160°C时，放大器的正电压低于负电压，则放大器立即返回14针放大器输出微弱。时，放大器吸收R2上的部分电流，流经电阻Rh的电流减小，并且加热功率减小。加热电阻小于160℃的差时，加热电流增加。某些情况下，热源的加热电流稳定，恒定温度保持在比环境温度高160°C的温度。于来自传感器的输出信号很小，因此不利于检测和收集来自主机的信号，并且存在线性误差。此，线性化校正和放大电路用于对传感器的输出进行放大和线性化。
图中，RU和Rd是两个测温电阻，R17是用于线性化校正的反馈电阻，R11和R17控制正反馈比，零电阻是R9和R10，以及R8和R7调节电桥电源电流。u2b和u2c构成了两级级联放大器电路。u2b是相位输入，u2c是差分输入。这种方式级联可以有效地补偿由外部影响引起的误差和漂移。此，它适合于调节传感器的相对较慢的温度变化信号。
感器在标准风洞中进行测试，并且在测量范围内均匀选择6个点，即0 m / s，1 m / s，2 m / s，3 m / s，4 m / s，5 m / s，然后对开发的样品进行性能测试。试结果列于表1。文基于先进性，实用性和可靠性的基本思想，对微型风速传感器进行了研究。
们研究了一种具有悬浮微结构和相应信号转换电路的热膜型风速测量元件。时进行了测试，对实验和理论结果进行了比较和分析。
本文转载自
恒温阀芯 https://www.wisdom-thermostats.com