在加州理工学院和罗切斯特大学，研究人员开发了一种超灵敏的微传感器加速度计。
设备使用激光检测运动，尽管尺寸很小，但仍可以极高的灵敏度检测运动。于其质量低，它还可以在很宽的频带内工作，这意味着它可以检测到数十微秒内发生的运动，比当今使用的传感器快数千倍。
州理工学院应用物理学教授奥斯卡·画家（Oskar Painter）和他的团队在《自然光子学》（Nature Photonics）评论中描述了该新设备及其功能：“我们设计的这种新技术结构表明，高性能光学传感器可以小型化并与其他产品集成在一起，恒温阀芯以便有一天可以投放市场。 Painter还是加州理工学院Kavli纳米科学研究所所长。我们的研究目标是扩展原理。具有大的光学干涉仪，并将其减小到纳米水平，关键要素是用于读取的微型光学腔，恒温阀芯“画家奥斯卡·加利福尼亚技术研究所的介绍。
型光学共振腔只有一个长度大约20微米，一微米宽，十分之一微米厚。纳米束就像拉链的两面一样，其中一根悬挂着经过测试的质量。激光进入系统时，纳米级充当光路，以在纳米束光腔来回反射的区域中引导光。链式感测质量移动时，两条纳米线之间的距离也会改变，这会改变系统反射的激光强度。于系统反射的激光信号对质量运动的检测极为敏感，因此可以在大约一秒钟的时间内检测到几个飞安（纳米）（大约质子直径）的位移。于谐振腔的尺寸和检测质量较小，因此系统中反射的光以特定方式推动检测质量。
而言之，激光减弱或抑制了检测到的质量的运动。
Painter说：“大多数传感器完全受到热噪声或机械振动的影响，在我们的设备中，光在减少热运动和冷却系统方面起着重要作用。
270℃），这大大增加了检测加速度的范围，因此该设备可以测量非常小的加速度和非常大的加速度。研究小组计划将其光学加速度计与激光器和检测器集成在硅芯片中。过去的10到15年中，一些微电子公司试图将激光和光学设备集成到其微电子硅产品中。Painter说，它仍然需要大量的工程工作，但是由于这些公司的技术进步，实际上有可能开始制造这些高灵敏度光学干涉仪的微型产品。
要作者包括亚历山大·克劳斯（Alexander Claus）和蒂姆·布鲁斯（Tim Brauss）（加利福尼亚理工学院的毕业生），马丁·温格（Martin Winger）（前博士后，目前在瑞士苏黎世的一家名为Sensirion的传感器公司工作）。项研究是与Painter小组成员和前博士后研究员Qiang Lin合作进行的，Liing Lin目前正带领其研究小组在罗切斯特大学进行研究。项工作得到了QuASaR高级防御项目管理计划和国家科学基金会的支持。关更多信息，请访问www.aph.caltech.edu/people/painter_o.html。扫描电子显微镜图像形成在硅微芯片表面上的光机械加速度计阵列。色区域表示悬浮在芯片纳米蚀刻区域中的测试质量。
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