技术的进步,需求的增长以及产品分类的多样化使传感器在产品设计中变得越来越流行和多样化。
如,在医学领域,工业自动化,汽车,建筑,农业,新能源,尤其是与物联网有关的应用中,对传感器的需求将大大增加。不同类型的传感器中,小型且高度集成的MEMS传感器无疑将成为技术发展的明星,这将使传感器迈出更大的一步。着MEMS传感器的普及,尤其是在娱乐和移动互联网应用中,它已逐渐将高级应用渗透到流行的应用中。MEMS的未来发展有两个主要方向:一个专注于基本运动检测或新功能,恒温阀芯例如手机,平板电脑,遥控器等。的主要挑战是在降低成本的同时提高产品集成度。点还放在基本运动检测或新功能上,还重点放在关键的系统性能参数,可靠性,准确性和极端的工作条件下,例如要求极高功率的手表应用。竞争激烈的建筑倾斜测量应用,对温度要求极高的测井应用以及主要的竞争挑战是如何显着提高不同应用的关键指标。获得的关键技术在于机械传感器和ASIC的设计。
然,处理技术也起着决定性的作用,特别是对于高精度传感器。法半导体的MEMS和传感器市场经理徐永刚认为,无线传感器网络和物联网为传感器提供了新的机遇,并且将MEMS集成到处理器和RF通信中将成为现实。场趋势之一。
交流结合。能传感器和多功能组合传感器将创建新的应用,其中智能传感器将演变为功能集成,低功耗,计算,恒温阀芯自补偿,自动检测,存储数据处理和信息处理。据MEMS传感器的工作原理,供应商可以开发独特的应用案例。如,村田中国的高级市场工程师何申敬先生解释说,他已经使用了最初用于汽车安全系统的加速度传感器来设计该系统的新算法和优化软件。
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精度,高分辨率的加速度传感器用于检测人体皮肤的极低振动,然后转换人体心功能数据,例如心率,血泵,心率变异性,等等MEMS技术的未来发展主要集中在以下几个方面:第一,小型化同时降低能耗。
次,微型化将提高精度,MEMS加速度计将实现石英加速度计的噪声特性,而MEMS陀螺仪将在获得光纤陀螺仪的同时变小。器的稳定性无偏差,并且可以提供比光纤陀螺仪更好的抗冲击性;第三,开发了集成化和智能化趋势,即MEMS和集成电路的集成制造技术以及多参数MEMS传感器的集成制造技术,并在集成的基础上,信号的检测是自动的。些趋势迫使半导体制造商提供高度集成的MEMS传感器模块,以提高准确性,稳定性和智能性。技术方面,为了实现更高的灵敏度和准确性以及更好的冲击性能,MEMS传感器的3D水平将成为每个制造商的过程水平和产品质量的基准。如,村田制作所的高精度3D传感器与硅和玻璃技术相结合,可支持20,000 g的重量。然,高精度3D工艺对产品生产技术的挑战是显而易见的,这不仅与半导体蚀刻技术有关,而且还涉及巨大的技术难度。
于治疗设备的准确性和可靠性。ADI公司亚太地区微机电产品和应用经理赵延辉表示,从开发,设计到批量生产的MEMS产品对制造和工艺,包括光刻,外延,薄膜沉积,氧化,注入,溅射,蒸发,蚀刻,切割和包装。
于已发布的产品,ADI通过改善机械结构和制造工艺来确保产品的性能,并积累了丰富的设计经验。于更小,功能更弱,更安静,更小巧的外壳,更低的温差和更低的电源电压,ADI不断改进制造和工艺来满足这些需求。
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