设计了一种应变测量传感器，该应力测量传感器由三个安装在同一印刷电路板上的专用芯片组成，该专用芯片的每个CMOS感光体都用于测量该位置上的平面位移的大小。过对传感器进行建模和分析，确定了传感器的结构模型，该模型研究了粘接方法以及校正传感器误差和测量表面积的方法。
验表明，所设计的传感器可以满足毫米变形范围内的应力测量要求，并且可以用作无线检测应力监测网络中的传感器节点。何由材料制成的物体都将在外力的作用下受力，变形甚至破裂。前，应力测量已成为控制飞机，水下探测器，石油钻机，桥梁，水坝等使用条件的有效手段。[1]。力监控与压力传感器密不可分。前可用的应变传感器根据测量尺寸分为两类：（1）一维传感器，例如电阻应变仪，振弦式传感器和光纤网络传感器。种类型的传感器是一种接触式测量，用于测量尺寸中的应力量。
（2）多维传感器，例如基于闪烁测量原理的光学测量系统。些传感器是非接触式测量，但是测量系统笨重，复杂，安装条件困难，并且不适用于飞机，水下探测器，油模，桥梁，水坝等[3〜4]。
了实现传感器的小型化并满足多维形变测量的要求，提出了一种非接触式平面形变测量方法，该方法由三个带有CMOS感光器的专用芯片组成，通过读取三个CMOS传感器。后，通过坐标值对设备中的平面坐标值进行转换和计算，以获得平面中的变形测量值和被测设备的变形量。
于传感器的小型化和通过无线网络传输测量数据的可能性，因此，飞机，海底探测器，石油钻机，桥梁，水坝，油罐下的约束条件的在线监测系统压力等可以通过多传感器测量节点网络构建。[5〜6]。式（1）和（2）中的X 1，y 1，x 2，y 2，x 3，y 3是分别由三个专用芯片的CMOS感光器感知的平面坐标值，而Lx和Ly是三个CMOS感光器。
用芯片。x和y方向上的中心点之间的距离01和02是三个专用芯片的物理坐标轴不一致的偏离角度。须对Lx和Ly以及θ1和θ2进行校准，以通过误差校正获得正确的平面变形测量值。
了获得θ1和θ2的值，传感器在直角三角形的顶点上在光学传感器相机的特定坐标轴方向上的无应力平面上执行平移测量。传感器安装在可移动的工作表面上，比较传感器使用网络位移传感器，其测量分辨率为1 nm，范围为50 mm。择x轴的正方向以平行移动，并将三个光学鼠标传感器的输出数据分别记录为10毫米，恒温阀芯15毫米，20毫米，25毫米和30毫米网络位移传感器的位移值。米。1中显示了数据。1中的数据得出结论，x2的位移值与网络传感器的位移值不完全相同，因为光学鼠标芯片的分辨率小于网络位移传感器；三个光学传感器的坐标轴x由于坐标轴y方向上的数据不相等，因此三个坐标轴之间存在一定的偏离角度。数据的分析给出了每组实验中坐标轴的相对偏转角θ1和θ2，如表2所示。表2的数据可以得出结论：偏转角θ1的值约为9.7度，偏转角θ2的值约为10.2度。过将应力计算公式（1）和（2）中的θ1和θ2值代入，可以分析测量数据。于任何传感器在制造和组装过程中都会不可避免地发生错误，因此传感器的测量值将与实际测量值有所偏差。了确保传感器的测量值更好地响应待测设备的状况，我们通常选择精度更高的仪表，并将其与通过同步要校准的传感器获得的测量值进行比较，然后执行传感器上的校准实验传感器得到了改进，从而可以更精确地传输测量结果。于受测设备的应力测量中的各种因素，该主题的二维应力传感器具有不可避免的测量误差，这就是为什么我们还需要校准大型应变计传感器的原因。准实验使用一种用于测量传感器分辨率的设备：在传感器的测量范围内选择传感器的测量范围，恒温阀芯连续设置压电陶瓷的控制电压，同步测量比较传感器和传感器的测量值，并获得比较曲线。图2所示，位移测量比较曲线的最大误差小于20μm。过将二维应力传感器的测量值与比较传感器的测量值进行比较，分析两者之间的关系，然后获得可以表征两者之间对应关系的一系列校准曲线以及该传感器的测量性能。维应力传感器。
况由于上述传感器的集成，传感器的性能指标如下：传感器的分辨率小于10μm，线性误差为3.74％，最大测量行程为3毫米从传感器设计和组装到安装和测量过程，都会产生相应的错误。些错误对传感器的性能和测量精度有确定的影响。测试过程中，由于实验室条件的限制，测试平台的结构存在一些结构错误。为错误不可避免地会引入到测量操作中。过大量测试，可以得出结论，主要影响因素是传感器安装错误和传感器本身产生的错误。文根据光电鼠标芯片的工作原理，二维应变测量传感器的设计，校准实验以及对传感器数据的分析，实现了传感器的测量。有二维接触平面。设计的测量方法为世界变形测量方法的研究提供了参考。
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