MEMS传感器是随着纳米技术的发展而出现的新型传感器，与传统传感器相比具有许多新功能和更大优势。当代追求小型化的过程中，它具有良好的发展前景，必将引起各国越来越多的关注。文首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用，然后介绍了几种传感器，最后分析了MEMS传感器的发展趋势和发展前景。MEMS传感器;加速度计;陀螺仪;纳米技术;微机构;微传感器的文件识别码：甲分类号：TH703文章编号：1009年至2374年（2016）35-0046-02 DOI：10.13535 / j.cnki。11-4406 / n.2016.35.022从广义上讲，MEMS微型装置或者能够大规模生产的机电设备，结合微机构，微传感器，微致动器，控制电路和信号控制甚至通信和能源供应。统。MEMS技术的发展，硅的发现为微电子技术和MEMS技术的发展奠定了基础。1954年，发现了压阻效应，为微型压力传感器的发展奠定了理论基础。1967年，提出了表面牺牲层工艺技术，并在此基础上制备了高共振悬臂梁结构。1970年，美国的Kulite推出了第一款硅基加速度计。
1982年，德国提出了一种具有高纵横比结构的LIGA工艺，用于制造微型齿轮等机械卫星部件。1987年，MEMS以正式名称诞生于美国。2000年以来，MEMS已经迅速发展，各种微器件已经出现在声学MEMS，光学MEMS，有机MEMS和能源MEMS领域。MEMS技术的发展浪潮第一个周期始于20世纪70年代末和80年代初期。987年，加州大学发明了一种基于表面牺牲层技术的微型发动机，这引起了国际学术界的轰动，MEMS进入了一个新时代。此期间，MEMS产品主要是微型压力传感器。二个周期出现在20世纪90年代，主要是个人电脑和信息技术的兴起。
（1）1993年，AD公司在美国销售微加速度计并将其大量应用于汽车防撞安全气囊。（2）同年，开发了TI公司在美国的数字微镜器件，并对投影仪等视频设备进行了全面修改。像方法; （3）在此期间出现了深度粒子反应蚀刻（DRIE）技术，围绕该技术开发的各种新加工技术极大地促进了MEMS技术的发展。三个周期出现在20世纪末和21世纪初。2002年，ADI公司的MEMS器件销售额突破1亿美元，但绝大多数仍来自汽车行业的安全气囊，导航，汽车报警器和车辆动力学控制系统。四轮是在2006年之后发布的。1）MEMS汽车应用继续主导市场，但增长的真正驱动力在于移动电话，游戏系统和运动应用的消费市场; （2）2006年，任天堂和索尼PS3等次世代主机与MEMS加速计起，MEMS产业终于打破依赖的咒语汽车应用了10年。有的MEMS传感器MEMS加速度计MEMS加速度计，顾名思义，是一种用于测量物体加速度的仪器。MEMS加速度计是一种微加速度计，其体积和质量低于传统加速度计的体积和质量。点根据测量原理，可分为压阻式微加速度计，电容式微加速度计和压电微加速度计。
阻式微加速度计。阻效应：当对半导体的某个轴向施加一定的应力时，电阻率发生变化。作原理：在来自外部的加速度的情况下，恒温阀芯理论力学得知质量将受到惯性力，并且梁悬臂将在d的作用下变形。性并将压阻膜固定在悬臂梁上。形发生également.Il已知的压阻效应的原则是，交换压阻膜的电阻值和在膜压阻交换的电压值，以使一系列的张力和强度通过实验可以获得作用的惯性。性力与外界的加速度输入有关，因此可以获得电压和加速度之间的关系，并且可以完成加速度测量。点：（1）主要结构简单，传感器易于制造;（2）接口和内部电路易于实现。
点：（1）对温度变化非常敏感，会影响测量的准确性，（2）灵敏度低，不易测量小的加速度变化，（3）蠕变和滞后效应明显。容式微加速度计。够进行静电电容的变化被与在两个板之间的距离变化，该距离变化可以通过电容的变化来测量，由电容的变化和差动测定得到的位移变化：基本原则完成加速度测量。作原理：将质量块固定在基板上，将带有微加速度计的电容式电容器板固定在移动质量块上，将另一块板固定在固定基板上。存在加速度时，质量发生位移并且上下电容器改变，并且可以获得电容差，并且获得加速度。点：（1）高灵敏度和测量精度，（2）的稳定性，以防止过载（3）低的温度漂移（4）非常低的功耗（5）强的能力。点：（1）读出电路复杂，（2）对寄生电容和电磁干扰敏感。电微加速度计。某些电介质由外部世界的动作而变形的压电效应，极化在电介质内发生，而正和负电荷的电解质的表面上出现因偏振。
外力被移除时，它返回到卸载状态。着作用在电介质表面上的力的方向改变，极化电荷的极性也改变。种现象称为压电效应。作原理：弹性梁覆盖有压电材料薄膜层当外部加速度作用在质量，惯性力的作用下，弹性梁的作用下发生变形外力。结构的上电极和下电极之间产生电压，由此可以通过测量电压变化来确定数学模型转换公式，并且获得加速度的变化，从而完成测量加速度。点：（1）结构比较简单，恒温阀芯（2）易于测量。点：（1）难以测量恒定的加速度，（2）温度系数大，（3）器件的线性度不够好，（4）压电材料相对昂贵。压力传感器MEMS传感器的发展近年来已达到顶峰，这是自20世纪60年代以来的解释。一个硅膜压力传感器和应变计的发明打开了微传感器发展的方法。种微传感器已经出现，但各种微传感器的发展并没有影响微压传感器的现状：到目前为止，压力微传感器仍然是微传感器在各个领域最常用和最有影响力的。
据不同的分类方法，MEMS压力传感器可分为压阻式，电容和谐振，并且也可以分为圆形，方形，矩形和形状E.压力微传感器被广泛用于在田间航空航天，车辆，控制等。车辆安全测试，有必要知道车辆的压力部件，以确保适当operation.The微压力传感器可以被用来测量尺寸和某些措施难以用传感器来测量常规压力部件的压力增加了车辆的安全系数。飞行中，由于外部环境条件的复杂性，各种填料可以影响飞机的外表面，有必要监测飞行器的外表面上的压力，以防止其超过材料。时，在飞机的发动机，该发动机的运行性能会有很大的不同条件下pression.Même某些极端的条件下，压力过低，发动机将停止工作，从而使压力引擎的工作是实时的。控非常重要，可以使用微压力传感器顺利完成这些任务。MEMS结构体的飞行，MEMS陀螺仪必须测量三个自由度节距，节距和aéronef.Il的辊的不仅是必要的测量加速度，而且角速度。以使用加速度计测量加速度，而通常使用陀螺仪测量角速度。
前使用的陀螺仪采用了高速要fixe.Lorsque轴线角度旋转物体被偏转，偏离的角可以被测量并且微分计算能够得到的角速度。前在飞机上使用的陀螺仪由于外部条件而非常精确，但是这种高精度在结构复杂和寿命短的情况下具有成本，这大大增加了使用成本。此，到目前为止，这种陀螺仪仅用于需要高精度的导航。际上，角速度传感器可广泛用于各种领域，例如军事生活。年来，随着微机械加工技术的不断发展和进步，不断提高制造精度，就有可能产生微陀螺仪可以串联和大生产精度。而，尽管出现了各种新型微陀螺仪，但它们仍然是一个初创产业，许多问题仍需要不断改进。目前为止生产的微陀螺仪测量精度很差，只能断言。功能可以执行，不能应用于现实，因此微陀螺仪的发展还有很长的路要走。前，微气体传感器中的空气污染现象日益严重：PM2.5已成为人们关注的主题，不同性能的气体传感器的发展也是如此。为各国政府关注的问题。
气体传感器已经出现。据气体微传感器的材料，气体微传感器分为硅基气体传感器和硅微传感器。于微气体传感器可以在芯片上集成多个传感器，因此在测量气体时可满足不同测量的需要。如，许多气体传感器在不同的工作温度下可能具有显着的测量差异，并且每个气体传感器具有其自己的最佳测量温度因此，在测量气体时，还需要测量温度以确定适用于传感器的计算公式。前，微制造技术的发展较为完善，这允许一个芯片来执行许多不同的功能：用集成在同一芯片上的温度传感器，气体传感器，温度可以在被测定气体测量。保气体测量的准确性。温度传感器微温度传感器体积小，重量轻，热容量低。测量温度方面，它比诸如现有热敏电阻的温度传感器具有更大的优势。前开发的微悬臂温度传感器使用硅和二氧化硅之间的热膨胀系数的差异。不同的温度下，硅和二氧化硅的形状变量是不同的，因此它所附着的悬臂梁的不同部分的变形也是不同的，并且变形可以通过检测电路位于悬臂梁的底部。过测量不同温度下的不同变形，可以确定温度和变形之间的对应关系，并且可以通过变形确定温度。测量方法证明它具有高精度和非线性误差，并且可以在相对宽的范围内测量。论随着微纳米技术的发展和微机制造技术的成熟，越来越多的传感器开始发展为小型化。用MEMS技术制造的微传感器具有许多优点，例如小型化，集成，低成本和易于批量生产，这些优势在越来越多的国家和国家中得到重视。多国家已经开始大力投资微传感器的开发。然目前开发的微传感器具有灵敏度低，工作面减小，精度差的缺点，但随着科学研究的深入，人们认为，未来的微传感器可以克服现阶段的弱点，呈现蓬勃发展。
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