高价值g加速度计可用于在土壤，混凝土，岩石或其他硬质材料中穿透地面武器，通常为每秒数千米。个过程中的冲击和钻孔。此，用于刺穿武器的加速度传感器具有宽测量范围，高抗冲击性和高频响应。
MEMS高端加速度计是高影响过程测量的重要组成部分。文系统地研究了压阻式MEMS加速度计封装，并讨论了不同材料封装后对器件性能的影响。
成传感器性能动态模型虽然主要结构不同，但它们都有一个共同点：传感器核心连接到管道。
感器内部包含质量，质量通过弹簧或其他。
性体被连接到所述传感器和所述振动体的绝对运动的基部造成的质量和基座之间的相对移动通过所述弹簧，并且所述相对运动是通过位于传感器内的阻尼器衰减，使质量 – 阻尼 – 弹簧运动系统被认为是弹簧质量系统，如图1所示。据二阶系统的经典模型，恒温阀芯我们可以知道当系数为0.707，传感器具有最小的幅频响应特性和近似最佳线性响应特性，如图2所示，但实际上，所用传感器的大部分阻尼是不是0.707。了减小动态误差并扩大频率范围，通常增加传感器的固有频率以改善传感器的动态性能。速度计外壳的特点是梁结构的高范围MEMS加速度计，恒温阀芯如图3所示。速结构由背面的KOH蚀刻和正面的蚀刻形成，如如图3所示，设计范围为100，000 g，加速度传感器的响应方向垂直于硅平面。
加速度传感器检测加速度，敏感光束是弯曲的并且在束改变基变阻器条电阻值：全惠斯登电桥的压阻效应和输出产生输出电压相对应的。结构系统设计用于动态载荷条件时，系统的固有频率和相应的模态形状是表示系统振动特性的重要参数。
须通过系统的模态分析获得这些参数。
Ansys软件通过约束芯片的支撑光束来分析矩阵。阶模式对应于在敏感方向（Z方向）悬臂的两个光束的振动和56kHz的模态频率。2中示出了壳体结构的模态分析加速度计壳体结构的框图。过使用铝合金，弹性模量更高：首先，建立壳体加速度计的几何模型，然后通过与六面体元素啮合获得有限元模型。8个SOLID45节点。
集成设备用于冲击环境时，核心会检测到Z轴方向的应力波。此，我们主要关注Z方向的振动（方向）壳），共振频率为121KHZ。成模态振动分析加速度计粘在管壳上，盖板用于模拟分析。阶模态振动频率为51KHz。
示意图如图5所示，其接近传感器芯的振动频率。动模式和核的形状很接近。
论对整个高端MEMS加速度计的结构进行了模态分析，结论是安装的固有频率主要取决于传感器核心的频率和壳体的频率。- 即使。体的频率越高，安装的固有频率就越接近内核。
有频率。
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