鉴于目前智能家居MEMS传感器的国家可靠性标准以及缺乏对MEMS传感器可靠性的详尽研究，本文提出了一个研究思路：基于特定的智能家居，来自MEMS传感器的实际工作环境，基于传感器读取数据的真实性，微处理器数据处理的稳定性和微执行器信号转换的准确性，研究已经完成了MEMS传感器的工作单元和整体可靠性测试技术。联网;智能家居; MEMS传感器;可靠性中图分类号：TP212文献标识码：A文章编号：二零九五年至1302年（2018）03-00-03引言随着物联网的技术的快速发展，智能家居行业红红火火。据市场研究数据，智能家居市场到2018年将达到1396亿元[1]。感器位于整个智能家居的底层，是数据采集的入口，智能家居的“五大特色”也将迎来巨大的发展空间。前，智能家居中传感器应用的趋势是集成传感器 – MEMS传感器。机电系统（MEMS）使用传统的半导体工艺和材料来集成微传感器，微致动器，恒温阀芯微机械机构，信号处理和控制电路，集成电子设备，接口，通信和电源。3]。种小巧，经济，高度集成且高度智能的检测系统是传感器发展的未来方向，也是智能家居的核心。许多类型的MEMS传感器，包括运动传感器，压力，麦克风，环境，光传感器等，可以完全满足智能家居的需求。而，随着智能家居应用的日益普及，作为微传感器，微致动器和微处理器的主要组件的MEMS传感器的可靠性问题变得越来越重要。中，可能导致智能家居区域中的MEMS传感器故障的环境因素主要包括温度变化，振动，湿度和静电放电。于这些材料的热膨胀系数不同，不同材料的界面会因温度变化而产生压缩或拉伸应力，从而导致不同材料界面处的裂缝和落下[4];由于微致动器例如尺寸，水分子的静态微悬臂梁的表面上的吸附后湿度，梁的上和下表面中产生应力差引起的悬臂梁的弯曲[5]。电放电：由于微处理器尺寸越来越小，单个芯片上集成晶体管的数量增加，因此在受到影响后很容易产生间歇性故障，表面错误和永久性错误。磁干扰和静电放电[6]。要强调的是，由于不同的测试对象，传感器必须经过特定的环境测试，如水压传感器 – 盐雾腐蚀测试，光传感器 – 灯照射测试氙气，真空传感器 – 低压试验。
了满足在各种环境中以物联网模式运行的智能家居的需求，评估MEMS传感器的整体可靠性尤为重要。文档描述了MEMS传感器的实际应用环境，使用先进的仪器和设备来模拟各种应用环境，探索和构建检测技术解决方案，评估模型和评估系统。成，从而提高了对提高MEMS传感器质量的兴趣，然后促进了智能家居行业质量水平的整体提升。能家居和MEMS传感器可靠性标准研究现状智能家居标准研究现状目前，大多数制造商都在制造自己的产品。有统一的标准给消费者带来严重问题，给企业带来经济损失。此同时，它也导致资源浪费，这对整个智能家居行业的发展极为不利[7]。米创始人雷军曾在2015年的“两会”上提出议案，希望尽快在智能家居领域引入国家标准。
国必须加强标准的制定并将国家标准推向世界[8]。前，智能家居的国家和国际标准主要侧重于硬件接口和软件协议[9，10]，但尚未对MEMS传感器的可靠性标准进行研究。能家居。
6月，IEC TC47 / SC47E（半导体器件标准化小组委员会）和IEC TC47 / SC47F（MEMS标准化小组委员会）的MEMS传感器研究现状在日本东京举行。议指出，由于MEMS技术和工业的快速发展，IEC 62047-1和IEC62047-4都要求每个成员国考虑增加新的技术内容。足行业需求。前，在MEMS领域，中国标准IEC62047-25：2016已经发布，会议进行的三项国际MEMS标准将在本次会议讨论后进入CD阶段。来，中国应继续关注MEMS技术领域的设计，工艺和材料。品性能测试等标准化工作仍需要工业，学术界和研究机构的相关工作参与标准化，引领行业发展[11]。MEMS传感器可靠性研究现状MEMS技术是一种多学科，跨行业的技术，具有复杂的产品结构，包括微传感器，微型执行器和微处理器。MEMS传感器可靠性的研究主要集中在微致动器上。
中大多数是指Martin PL [12]给出的机械系统中环境缺陷的分布。[13]中，分析了微加速度计悬臂梁在温度，湿度和振动方面的失效机理。献[14]分析了麦克风薄膜MEMS结构的冲击损伤。合流动的气态环境;诸如屏蔽，接地和滤波之类的技术改善了MEMS惯性测量系统的电磁兼容性。
前，智能家居领域MEMS传感器的可靠性尚无统一的国家标准，而MEMS传感器的可靠性分析仅限于研究其失效机理。MEMS纳米传感器的微纳米材料和微结构，却忽视了MEMS传感器的核心功能分析。信息传递机制和信号失效。于智能家居物联网智能家居，MEMS传感器应基于MEMS传感器的实际工作环境，全面分析传感器读取数据的真实性，微处理器数据处理和微执行的稳定性。号转换的准确性。能家居领域的MEMS传感器可靠性检测内容旨在解决智能家居领域MEMS传感器可靠性标准的缺陷以及MEMS传感器可靠性的不完整研究。据环境，完整分析传感器读取的数据的真实性，微处理器数据处理的稳定性和微致动器信号转换的准确性。个MEMS传感器工作单元的可靠性测试技术研究和独立评估方法基于基于智能家居物联网的MEMS传感器可靠性的可靠性评估技术。据MEMS传感器的实际工作环境，执行传感器数据的读取。“微处理器数据处理稳定性”“微执行器信号转换精度”对应多环境交替模拟方法（温度，湿度，振动，冲击，盐雾，静电放电等）检测技术研究，分析测试参数要求和测试方法，建立相应的测试技术和独立评估方法，为研发提供科学可靠性测试技术和评估体系，MEMS传感器的设计和生产。究MEMS传感器整体可靠性测试技术和完整评估模型（1），比较现有质量标准的技术要求，并关注行业中MEMS传感器的整体可靠性。应的典型环境。
测技术和评估方法。据现有理论，建立物理模型，处理统计和处理数据，建立完整的指标参数评估模型。能家居领域MEMS传感器可靠性检测技术概念多环境综合仿真方法离散检测MEMS传感器单元围绕实际MEMS传感器环境，合理选择多种环境（温度，湿度） ，盐雾，振动等）完成模拟方法的替代检测谨慎每个单元中的微机电系统传感器的，单独的统计数据，比较独立的操作参数（范围，灵敏度，重复性，稳定性，频率响应范围等）对每个单元进行可靠性试验前后的评估，以评估可靠性的损坏程度。
对每个MEMS传感器单元的可靠性损坏和故障机制的目标分析从材料特性，电子运动和信息传输的角度，各种加速模型（物理，统计，经验等）。用于研究使用多个节点的微传感器。种研究微致动器的分析方法，恒温阀芯使用MTTF方法（MTTS）和FIT方法（FIT）来研究微处理器，解释了每个单元的故障机理和可靠性的恶化，如如图1所示。示。于全局检测MEMS传感器的全时多环境仿真方法集成的多环境交替仿真方法MEMS传感器的整体检测如图2所示。论智能家居越来越有用人的生命和人们越来越依赖它。MEMS传感器可靠性研究的结果决定了用户对智能家居产品和智能家居产品市场机会的信心。决于MEMS传感器的实际工作环境中，纸张选择完全模拟的交替多个环境，以检测所述MEMS传感器的可靠性，以及个人和完整的MEMS传感器（微传感器，microactuateur，微处理器），其的对象的方法寻找完整的MEMS检测。
感器的可靠性更加客观，逼真，可以模拟MEMS传感器在实际工作环境中的可靠性效果，为解决MEMS传感器在材料选择中的可靠性评估提供技术支持，设计结构，制造过程和应用。
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