DOI：10.19392 / j.cnki.16717341.201722094为了满足微缩压电泵的振动变形的需要，本文以单片机为主要成分，并且基于硬件电路上，该VS C＃用作编程工具，以及它的关键模块和用户。接口的设计和设计与微型主动阀压电泵配合使用，其主要功能是使调节后的交流信号电压，频率和相位差更加方便灵活。统主要使用上位计算器。统实时监测压电振子的微小变化，可根据传感器信号的反馈自动调节电信号的频率，最后测试系统性能。过实验和使用，控制系统指标可以满足高精度传输流的要求。
为将来寻找主动阀压电泵控制系统提供了一种新方法。制系统;频率;电压;返回。图分类号：TH38文件识别码：压电泵是压电驱动技术的一个非常重要的分支，在微机电流体系统（MEMS）中有很多应用。年来，在压电泵领域的阀门研究逐渐加热，因此，大量的主动阀压电泵已经在国际上的发展。
18]最有代表性的是，俊筱原和雅之苏达精工电子，日本，已经成功地开发的压电泵在2000年由压电片材的活性常闭阀在2005年，被设计成具有蠕动主动阀的压电泵和由Richter先生和Y. Congar先生在德国制造，2005年，Yosida及其同事在东京科技大学成功开发出压电压电泵。本文中，我们研究了基于圆形双压电晶片与主动阀的压电泵的实验控制系统中，重复所述参数设置和比较，分析和验证后者的影响。统主程序接口的设计图1是压电振动控制系统的工作接口。界面分为四个部分：串口参数区，初始参数区和工作参数区。试和测试设备的内容图2显示了带有主动阀的压电泵的实验控制系统的组成，主要由信号发生器，功率放大器和转换器组成。字 – 模拟，高精度数字万用表，示波器和平衡测量。
压电泵微型主动阀的控制实验中，试验的原理，制造压电泵单腔，压电振动器被用作实验受试者和应变仪被附着到泵膜片外部作为检测传感器。过转换A / d。此检测到的振动的变形和信号进行整流和放大电荷放大器将被转换成具有比5V的电压以下的直流电压信号，并传送到计算机，目标是积极控制振动。图3所示，双振子压电泵的控制原理。
实验中，通过设置和通过手动改变压电泵的输出电压的振幅值，然后使用高精度的数字万用表测量其输出电压的均方根值，则获得的电压通过公式得到幅度值。1显示了电压的幅度。较结果。据上表中的数据，设定值与实际电压幅度之间存在一定误差，主要是因为该系统的输出信号电压幅度由数字电位器，总电阻为2K。整电阻，由于串行传输字节的限制，组织调整必须至少为20;因此，理论上，输出电压的幅度只能达到1.8V的分辨率，输出电压也是由此引起的误差。外，该系统的输出电压影响带通滤波器电路的中心频率的选择。出信号的频率是在一些先前的经验commande.Selon系统接口的经验值，某些输出信号的经验频率被手动设置并检测这些输出信号的经验频率值由信号发生器。果如表2所示。
上数据表明，频率的实际值与设计值之间也存在一些误差。析这些错误的主要原因如下：为了使串行通信设置更简单，更方便，系统采用12.06 MHz时钟。输出信号的频率为f，T0的初始值被计算为广大的计算数据的是百分或数千的精确的数字用于在进程的十六进制数的转换的小数部分。文使用舍入，它给出了理论计算输出的不同频率，但从实验结果来看，误差很小。输出信号的相位差是一些以前的实验的系统接口contrôle.Selon经验值，某些输出信号的相位差被手动设置，恒温阀芯则信号的波形通过示波器观察和检测输出，以获得当前的相位差结果。3显示。上表中的数据所示，相位差的实际值也与设计值有一些误差。差分析的主要原因是功率放大器本身的相移由于功率放大器本身的相移而不一致。了满足微缩压电泵中，驱动控制系统的软件部分，包括更高的计算机程序（PC）和较低的计算机程序（计算机芯片的振动应变的需求），旨在运行界面和关键用户模块。化设计。
统的功能主要包括：手动调节频率，相位差和输出信号电压幅值，监控和实时显示当前运行状态和在线检测压电振子的变形。后，系统的性能已经过测试。过实验和使用，控制系统指标可以满足高精度传输流的要求。
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