本文提出了一种基于激光蚀刻路径的切削阻力精确控制方法。方法通过确定蛇形切口的切割长度并将其与单个端口处的直切割相结合来控制切割的精度。
了保证电阻测量的准确性，采用100Ω~2000Ω铂膜热敏电阻的电阻值，激光调节精度可高达0.1％。敏电阻，激光调整，精密控制简介激光调整是最复杂的电阻控制方法之一。本原理[1]是将适当功率密度的激光束聚焦在电阻材料上。于高温，电阻材料瞬间蒸发。激光束被蚀刻时，电阻材料被切断并且电阻体被切断。积减小，阻力增加。
光在电阻材料上的扫描路径被称为电阻调节图案，并且激光调节的精度与调节图案有关。于难以控制激光束的焦点，激光电阻的图案通常是直线或直线的组合。光校正的完整精度取决于激光的速度，激光的稳定系数和控制激光束焦点的难度。文使用蛇形修剪图形和单端口直接修剪的组合。本文中，通过有效地确定蛇形电阻图案的切割槽的长度来控制调节的精度，并且直线单端口调节图案的组合进一步提高了调节的精度。了保证电阻测量的准确性，该方法应用于控制铂膜电阻调节过程100Ω~2000Ω，激光调节精度可达0.1％ 。文采用ESI4900紫外激光电阻器作为实验平台，研究铂膜热敏电阻在调节激光电阻过程中的精度控制。光电阻的原理由激光控制分两步：首先调整蛇的类型，然后直接调整单个端口。阻测量系统实时监控和调节电阻以调节Rt。果Rt的电阻在可调电阻范围内，则打开激光器进行调节，否则消除补偿并测量下一个电阻;设置电阻时，如果达到粗调精度，则实时检测电阻值并在线检测。求，调整结束，开始对单个端口进行直线修复调整，同时继续实时检测电阻，在线，如果已达到电阻设置的精度要求，关闭激光器否则，让激光沿修复方向燃烧，直到电阻达到精度要求。整切槽长度的控制方法设定槽型的类型电阻部分的形状包括：直口修复，直口两端修复，L形边缘，U形内衬，L ，J，U形装饰及其组合。理选择这些类型的填充物及其组合可以产生更好的结果。1是主要类型的基本修剪切口的特性和性能的对比表。整的精度，激光扫描速度，稳定系数，激光束点直径和聚焦稳定控制难度等，结合目前制造过程中的情况铂膜热敏电阻。
文使用蛇形修剪图案。剪图案和激光修剪路径的组合如图2-1所示。2-1激光切割电路图解测试原理测量恒流压力的方法用于电阻测试。就是说，施加已知的恒定电流I以交叉测量的电阻Rt，然后测试电阻器的电压V.电阻器的值可以根据公式Rt = V / I计算，如如图2-2所示。图中，我是由程序控制的恒流源。V是具有非常高输入阻抗的电压表，不能获得恒定电流源。2-2测试测试图当测得的电阻较低时，与测量的电阻相比，测试的接触电阻和探头的接触电阻与测试点不可忽略。终使用双线测试方法。导致测试错误的显着增加。这种情况下，必须使用开尔文连接方法（或四线测试方法）进行测试，如图2-3所示。2-3 Scheffer连接测试示意图图2-3使用字母r1，r2，r3，r4表示探头的电阻以及探头和测试点的接触电阻。于在测试环路中流动的电流为零，因此r3和r4上的电压降也为零，施加的电流I是r1和r2上恒流源的电压降，不会影响测量电阻Rt的电流。压降允许电压表准确测量Rt上的电压，从而精确测量Rt的电阻。然，测试结果与r1的大小无关， r2，r3，r4。是开尔文连接的优点。决于动作和电势的四条线被称为高电位施加线（HF），高电位检测线（HS）和低电位检测线（LF）。测试卡上，HF和HS统称为HIGH PIN或HP，LF和LS统称为LOW PIN或LP。
定蛇形切割喉部的长度对于铂膜，电阻率较低，必须具有较长的蛇形切割喉部长度。ESI4990紫外激光电位器使用一个环…旁边实现一个蛇形补偿。令为：xy 50 MM 50 MMst r1 -0.2％i = 1，2trim至1800 UMhop右40 UMhop高达100 UMtrim向下1800 UMhop右40 UMhop向下100 UMnext i本文使用实验激光雕刻确定蛇形切割槽的长度，即用激光修整器蚀刻铂膜，并添加不同的雕刻命令以增加For。..以下循环，检查不同环路的电阻电阻变化量…然后，使用这些电阻器的变化量来反转所需狭缝的长度以细化一些电阻。1000Ω的电阻值为例，恒温阀芯进行了实验，实验结果如表2所示。据表2的实验结果，电阻值增加约8。增加一个周期数Ω，1000铂层热敏电阻的电阻所需的最大修整值不超过20％，即200Ω，因此循环次数可以是定位。25次，考虑到其他因素的影响，循环次数增加20％，30次循环可以满足阻力修复的需要。决定了蛇形微调切槽的长度。果循环次数不足，则调整结果低于目标值，并且未完成微调。果循环次数太大，则激光雕刻路径可能跳到其他电阻以进行补偿，这将是浪费的。整到端口的直线修复为了进一步提高调谐精度，一旦完成蛇形微调，就会执行对端口的直线修复调整。序如下：xy 50 MM 50 MMst r1 – 0，05％，减少1，800 UM表示实验允许蛇形调整和调整的组合确保铂膜热敏电阻的电阻小于0.1％。于该方法必须测量要补偿的电阻器的电阻，因此调节速度慢并且通常用于调节精度高的情况。
论复合修边方法结合蛇形修边和直角单孔修边，可有效保证铂膜热敏电阻的电阻精度在0.1％以内。已应用于铂膜热成型100Ω至2000Ω系列电阻器的生产。
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