北京七星华创电子有限公司CS系列质量流量控制器/质量流量计荣获2008年度中国半导体技术与创新产品奖。新和先进CS系列气体质量流量控制器是一种精确测量和控制各种低流量和中等流量气体质量流量的装置。产品具有以下特点：精度高，响应速度快，密封性好，耐腐蚀，零漂移和温漂，实用性强。产品可用于数字控制器领域，如8英寸半导体生产线和高真空设备。改变了游戏规则：中国的数字质量流量控制器完全依赖进口。过去的两年中，CS系列产品已通过研发测试，试验测试，小批量生产和客户测试。2008年6月，他们顺利通过了北京市工业促进局的省部级评估。“产品技术已达到国家第一，综合技术指标已达到国际同类产品水平。
CS系列气体质量流量控制器的创新包括两项创新和消化吸收创新：1）恒功率传感器技术传感器部分是质量流量控制器的核心部分。体。前，基于恒流源或恒流源的传感器技术被广泛使用，但是通常难以确保制造过程中上游和下游绕组的完全相干。通常导致MFC的零漂移，这是恒流源传感器系统无法避免的缺陷。
CS系列中，提出了一种新的恒功率传感器技术：基本原理是自动反馈电路自动检查传感器绕组中的电流，增加或减少提供给绕组的能量，并确保绕组消耗相同的能量。这种方式，传感器，并通过感测管功能通过在恒定的环境和特性的气体的不同部分保持不变，从而抑制现象基本上流量计的零点漂移和大大提高了系统的测量精度。些绩效指标，如反应速度。项创新属于原始创新。字传感器平衡技术在CS系列中，结合恒功率传感器控制方法，提出了一种数字传感器平衡方法，传感器电压可以通过直流电压进行温度补偿。方法极大地改善了CS系列传感器中温度漂移的抑制。CS系列可用于极端温度变化的环境。
项创新属于原始创新。3）阀门控制技术VCP CS系列产品的阀门控制技术有许多创新，统称为阀门正确底座（VCP）。技术根据传感器的特性建立了传感器的动态响应模型。后基于模型处理传感器信号以改善信号返回。时，机械部分采用国际知名的倒置进气结构。构阀内的气体死区较小，阀门响应速度快，无滞后现象。性能单片微计算机用于处理各种信号，并且使用特定控制算法来产生控制信号。方法可有效提高气体质量流量控制器的质量。统响应迅速，同时保持对最低设置的良好控制。项创新属于消化吸收的创新。前，我国高端半导体和真空领域还没有气体质量流量控制器。CS系列将成为中国第一个拥有自主知识产权的高端数字气体质量控制器。界领先的气体质量流量控制器供应商主要位于美国和日本。主要包括迅捷（原TYLAN股和美国），MKS在美国，日本和AE STEC在日本，基本上垄断了全球市场的质量流量控制器，用于高端数字气体。产品类似于CS系列是IN2系列（原TYLAN产品）和Unit8161（原产品股）迅捷的Z500系列STEC，变压器系列AE的ALTA1480 ALTA180A和MKS系列。些产品目前是消费类产品，占据流量计的高端市场，已广泛应用于半导体和真空等许多领域。
国外同类产品相比，CS系列产品在准确性，可重复性，多气体和多量程功能等关键指标上达到了同等水平。在零漂移，响应时间等方面具有优势。CS系列支持单电源和双电源，以及0-5V模拟电压和4-20mA电流，非常方便客户使用。CS系列产品是在国际合作框架下开发的新产品。R D和测试活动是作为七星级电子组织的一部分进行的。星电子拥有完全自主知识产权。
CS系列气体质量流量控制器/流量计2008年4月，该项目获得ECMG CE认证。2008年6月，他成功地在2008年6月确定了北京计量测量研究所的产品类型。008年10月，他完成了省部级和2008年10月的评估。ODVA DeviceNet一致性测试和SEMI测试。前，该项目已申请专利11项，其中专利3项，专利许可2项，软件注册1项。用与市场中国电子信息产业的快速发展已成为中国经济增长最快，产值最高的地区，计算机和通信业迅速发展。度和集成电路的增长率为30％。于半导体产业的快速发展，全球IC制造业正在向中国发展，这为IC设备部门开辟了一个巨大的市场。SEMI（国际半导体设备与材料协会）最近宣布，预计中国在半导体制造设备上的支出将从2005年的10亿美元增加到20亿美元2006年为30亿美元，2007年略低于20.5亿美元，2008年达到256亿美元。十亿美元。2006年到2008年，中国集成电路设备的资本支出达到66亿美元。固态设备中，气体质量流量控制器是精确测量和控制气体的唯一组件。
半导体工艺中，许多关键工艺如外延，CVD，LPCVD，PECVD等。求严格控制气体的质量流量。此，气体质量流量控制器在半导体器件中起着极其重要的作用。要客户主要有半导体设备制造商，FAB半导体制造工厂，各大学，研究所，吸尘器制造商等领域和行业。
着半导体技术的不断发展，市场持续增长，对气体质量流量控制器的需求也将迅速增加。前，中国半导体行业使用的高端气体质量流量控制器均来自国外。价格，长供应周期，不满意的售后服务以及昂贵的零件和配件等问题严重阻碍了中国半导体工业和设备的发展。CS系列产品的推出使中国首次生产出具有自主知识产权的气体质量流量控制器，恒温阀芯从而打破了国外产品对中国的垄断。
国际同类产品相比，它不仅具有价格优势，而且在产品质量和本地化快速服务方面具有很高的竞争力。此，未来产品在国内和海外市场的市场前景非常看好。2009年初以来，产品已进入批量生产阶段，并将于2012年投产。销售量达到10000台，年销售收入达到8000万元。
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